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產(chǎn)品名稱：

TOC超純水設備
產(chǎn)品品牌： Onyx/安力斯 價格：
廠商性質： 生產(chǎn)廠家 產(chǎn)品時間： 2024-07-22
TOC超純水設備指需電子行業(yè)用水，其水中要去除細菌、泥沙、膠體、懸浮物、金屬這些導電雜質。其電阻率≥18MΩ/cm（25℃，EW-I）。

產(chǎn)品概述

TOC超純水設備

微電子行業(yè)制備超純水流程中，因紫外線技術在超純水高品質要求中不引入新的物質，而得到廣泛應用。

有機物是超純水系統(tǒng)中最難控制的污染，隨著集成電路臨界尺寸不斷縮小挑戰(zhàn)，對超純水中TOC值的要求越來越高，因此，如何配置紫外線，如何確認配置中紫外線設備的有效紫外劑量，進而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高，安力斯將為您解決這些運營困擾。    

185nmUV主要用于去除超純水制備過程中的TOC，使出水滿足美國ASTM超純水水質標準及電子工業(yè)部電子級水水質標準。

產(chǎn)品介紹：

EX-UPW-TOC產(chǎn)品系列是一款適用于超純水 (UPW) 制備中對總有機碳 (TOC) 進行降解的先進可靠系統(tǒng)。通過更高185nm穿透率、實時在線的紫外線強度監(jiān)測、本地/遠程的智能控制，實現(xiàn)高效、安全可控的總有機碳 (TOC) 降解。該設備在超純水制備工藝中，可使超純水TOC降至1ppb以下。

產(chǎn)品主要組成：高強度185nm的紫外燈管，高輸出石英套管，內(nèi)外電解拋光的一體化紫外反應器，高度精確的UV強度傳感器及智能自控系統(tǒng)組成。

 

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TOC超純水設備

產(chǎn)品規(guī)格：

處理水量

2~60m3/h

燈管配置

12~48支

燈管類型

85w/155w(185/254nm雙波段)

石英套管

T＞80%@185nm

鎮(zhèn)流器

50~100%輸出功率可調(diào)

反應器材質

316L

潔凈等級

內(nèi)外電解拋光、表面光潔度10以上（≤Ra0.2）

法蘭尺寸

DN50~DN200

額定壓力

PN10

控制柜等級

IP55，碳鋼噴塑

控制系統(tǒng)

本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統(tǒng)

UV強度傳感器

分辨率0.01mw/cm2

 

 

 

 

 

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